CVD金剛石的一個重要性質(zhì)是它具有*的熱導率。在室溫條件下, 金剛石的熱導率是銅的五倍。同時,它本身又是的絕緣材料。因此可以應用金剛石膜制作X射線光源陽極透射靶材, X射線窗口和X射線熒光屏(摻N/B)等。CVD 金剛石光學性質(zhì)的應用。金剛石在從紫外到遠紅外的很長波長范圍內(nèi)有很高的光譜通過性能。加上金剛優(yōu)秀的機械、熱學性質(zhì),使金剛石薄膜成為可在惡劣環(huán)境中使用的的光學窗口材料。
基本參數(shù):
類型 | 單晶 / 多晶金剛石 |
級別 | 力學級、熱學級、光學級、電子學級、納米晶 |
典型尺寸 | 多晶:可在φ120mm的晶圓上切割任意尺寸;單晶:尺寸為7mm*7mm |
標準厚度 | 0.01-2mm |
表面處理 | Ra<10nm (多晶) Ra<3nm (單晶) |
摻雜 | 摻氮適用于高通量光束(1013-1015 photons/s) 摻硼適用于低通量光束,1010-1012 photons/s |
應用案例:
X射線熒光屏
X射線窗口
X射線源透射靶