公司介紹:
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學配件的研發與銷售經驗。在范圍內,通過與眾多來自同步輻射科學,阿秒科學,高強度物理學等領域的科學研究者開展緊密合作,積累了大量*的設計與制造技術,其產品在業內享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率,高聚光效率等特點,適合被各種輻射光設施使用。另外,分辨率測試卡被當作業界的標準。不只是學術研究,在X射線的檢查裝置開發現場也被廣泛使用。XUV鏡片,XUV濾波片不僅對阿秒科學有著幫助,對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領域給予客戶在研發上的幫助。
產品介紹:
用于X射線分析的分辨率評估圖的事實上的標準
優點
恩梯梯技術公司的X射線分辨率評估圖被應用于X射線顯微鏡、X射線微光束分析和X射線成像等需要超高分辨率的X射線分析。此已成為事實上標準的X射線圖被廣泛應用于世界上許多地方。
恩梯梯技術公司的X射線圖的特點是高耐X射線輻射性、超清晰圖案和低邊緣粗糙度。本公司基于Ta吸收體圖的SiC膜極其精確,能為用戶的X射線分析系統評估提供清晰的圖像。
您不嘗試一下這事實上標準的性能嗎?
特點:
有三種X射線圖可應用于各種方面:標準型、高分辨率和高對比度型以及超高分辨率型。可為用戶的系統定制圖案布局和基板尺寸。
有三種X射線圖可應用于各種方面:標準型、高分辨率和高對比度型以及超高分辨率型。可為用戶的系統定制圖案布局和基板尺寸。
規格
項目 | 標準型 XRESO-100 | 高分辨率型 帶較厚Ta 吸收體 XRESO-50HC | 新!! 超高分辨率 XRESO-20 | |
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基板 | 材料、尺寸 | Si 10平方毫米 | ||
厚度 | 1毫米 | 1毫米 | 0.625毫米 | |
膜 | 材料、 厚度 | Ru 20納米 SiN 2微米 | Ru 20納米 SiC 200納米 SiN 50納米 | Ru 20納米 SiC 200納米 SiN 50納米 |
區域 | 1平方毫米 | 1平方毫米 | 1平方毫米 | |
對齊 | 基板中間 | 基板中間 | 基板中間 | |
圖案 | 吸收體、 厚度 | Ta 1微米 | Ta 500納米 | Ta 100納米 |
最小圖案 尺寸 | 100納米 | 50納米 | 20納米 放射形圖案 | |
圖案區域 | 250微米×350微米 | 300平方微米 | 300平方微米 |
恩梯梯技術公司的已成為事實上標準的X射線分辨率評估圖在世界上被用于企業、大學和研究所。
超高分辨率型 XRESO-20
XRESO-20是具有20納米最小圖案寬度的超高分辨率評估圖。2014年開始銷售的此高規格型號最近被應用于超高分辨率X射線成像系統。
圖的SEM圖像 | 圖案布局 |
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100納米孔 | ①放射形圖案 ③④孔圖案 ⑤⑥⑦⑧L&S圖案 |
50納米孔 | |
20納米圖案 | 20納米放射形圖案 |
超高分辨率型 XRESO-20
XRESO-20是具有20納米最小圖案寬度的超高分辨率評估圖。2014年開始銷售的此高規格型號最近被應用于超高分辨率X射線成像系統。
圖案布局 |
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帶較厚吸收體的高分辨率型 XRESO-50HC
XRESO-50HC提供成本合理的50納米高分辨率。其已被應用于X射線微光束輻射、X射線顯微鏡和X射線相干成像等各種用途。
圖的SEM圖像 | 圖案布局 |
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放射形圖案 相應于圖案布局的點(1) | |
50納米 L&S 相應于圖案布局的點(2) | |