公司介紹：
德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學院（KIT）微技術研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術，Microworks為客戶提供高精度微結構的產品。在微納米技術領域，Microworks代表著高精度。在一個晶片內或者從一個晶片到另一個晶片，其高縱橫比和精度可以遠低于1µm。其產品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。
產品介紹：
X射線深度光刻微加工技術：LIGA
來自Karlsruhe技術研究所與microworks GmbH的定制化高縱橫比微結構
產品特點：
高縱橫比（>100）金屬或聚合物
立角約90°的平行側壁（1mm高的結構偏差~1μm
側壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范圍）
橫向精度在數微米范圍（數厘米距離下）
通過雙次曝光可得到多種側壁角度
主要應用：
X射線光柵 (Au ，Ni)
X射線棱鏡(SU-8)
X射線狹縫/針孔(Au)
X射線準直器 (Au)
高級微結構零部件(Au)
環保在線