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SOLARUS (955)Plasma Cleaning System等離子清洗儀

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更新時間:2021-06-29 17:07:49瀏覽次數(shù):388次

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商鋪產(chǎn)品:52條

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產(chǎn)品簡介

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詳細介紹


    產(chǎn)品功能介紹
      等離子清洗技術起源于約30年前的半導體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳氫化合物.等離子清洗的關鍵要點在于:不能改變樣品本身的化學組成;不能改變樣品的結構特征;不能損傷樣品表面。
      SOLARUS - 全新*等離子體清洗系統(tǒng),去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統(tǒng),其改造的新概念和技術令它具有更佳的性能,操作簡便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比,Solarus能提供效的清洗效果。
    品牌介紹
      美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入中國市場。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術的*性在電鏡界享有*聲譽。
      作的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商,其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學,能源科學等領域, 客戶范圍涵蓋的科研院所,高校,各類檢測機構及大型工業(yè)企業(yè)實驗室,并且在科學研究領域得到了廣泛認同。
    經(jīng)銷商介紹
      歐波同有限公司的微納米技術服務供應商,是一家以外資企業(yè)作為投資背景的,總部位于香港,分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌"的經(jīng)營理念,與蔡司,GATAN品牌強強聯(lián)合,正在為數(shù)以萬計的中國用戶提供高品質的產(chǎn)品與技術服務。
    產(chǎn)品主要技術特點:
      Solarus是一種*的清洗解決方案,它利用等離子配方,對于所有的樣品,包括Holey碳膜,都具有更快更*的清洗效果。該設備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴展了對已經(jīng)被污染的樣品的觀察時間。采用分子泵搭配多級隔膜泵的真空系統(tǒng)可確??焖倏煽康某闅庑Ч?。不到1分鐘的抽氣與放氣時間,30秒--2分鐘的清洗時間,整個過程不用2分鐘。


    使用等離子清洗的好處
    增強成像能力
    提高元素分析的準確性
    在SEM中,延長EDX和EBSD的觀察和采集時間
    可使用更小的束斑,這對于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。



    產(chǎn)品主要技術參數(shù):

    射頻源:  50瓦的射頻電源,具有功率自動匹配功能
    真空系統(tǒng):70升/秒的分子泵搭配兩級隔膜泵
    氣壓: 5E-6 Torr基本壓力,400mTorr工作壓力
    真空規(guī):緊湊的皮拉尼規(guī)
    艙室:
        兩個前置接口能裝載TEM適配器,用于裝載側插TEM樣品桿和SEM樣品桿
        頂部入口用于放入SEM樣品臺,顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
           艙室尺寸為3.5"直徑 x 2.0" 深度
        前置觀察窗能觀察工作時的等離子體發(fā)光
        內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開,抽真空時間不到1分鐘,放氣時間小于5秒。
    氣體控制:采用精確的質量流量計來測量及控制氣體流量
    氣體種類:采用三路獨立氣體(H2,O2和Ar)
    清洗配方:提供包含有H2/O2配方等一系列配方,同時支持用戶自定義配方
    用戶界面:采用交互式觸摸屏,提供包含有中文、英文等多種語言界面
    電源:通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W


    相比于傳統(tǒng)的等離子清洗儀,Solarus的主要優(yōu)勢:
    1.)*的H2/O2配方
    2.)更快的清洗周期(不到2分鐘)
    3.)交互式的觸摸屏設計
    4.)提供7種經(jīng)測試過的一鍵操作式配方
    5.)2個用于裝載側插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
    6.)頂部裝樣口可裝載多個(>25)TEM微柵或者SEM樣品臺/樣品
    7.)自動匹配功率的射頻源確保等離子源的長時間穩(wěn)定
    8.)精確的氣體流量控制(質量流量計)
    9.)最小損傷的清洗Holey碳膜

    10.)支持多種語言(英語、中文、日語、韓文、法語、德語)


    產(chǎn)品主要應用

    去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染


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