【產品簡介】
ContourGT-X 是實驗室研發和工業生產均可適用的高性能儀器。它積累了代產品在白光干涉技術上的創新，實現了快速地三維表面測量，從納米級表面粗糙度測量到毫米級臺階的測量，垂直分辨率可達亞納米級。可編程的 XYZ 控制和*的掃描頭自動控制，使得儀器測試空間極大的拓展，多種自動化功能，使操作使用簡便易行。配備的 Vision64 軟件，具有業界的數據分析功能，其優化設計的用戶界面為使用者自行定義測量和數據分析提供了極大的便利。內部激光自校準技術可以自動校準因環境或機械不穩定產生的漂移，無需標準塊，減少使用成本保證測試的精準度。
【主要應用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結構、MEMS 器件關鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領域的測量。
【主要參數】
垂直量程 | 0.1nm 至 10mm（閉環無拼接） |
垂直分辨率 | 0.01nm |
電動樣品臺移動范圍 | ±200mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數決定 ) |
光學橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復性 | <0.1% 1σ |
傾斜調整 | 自動鏡頭調節 ± 6° |
垂直掃描速度 | 117um / 秒，用戶可自行設定 |
機器校準方式 | 激光自校準（可選） |
聚焦功能 | 鏡頭自動聚焦，自動調節干涉條紋光強 |
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