Dimension®FastScan ™是布魯克公司基于世界上使用最多的原子力顯微鏡平臺的一個技術創新。快速掃描系統與超穩定，低噪音平臺相結合，無論是超低噪聲，高精度掃描，還是高速率的掃描， 均使得該系統超過您實驗室購買的任何單一設備，實現真正的物超所值。為滿足原子力顯微鏡使用者對提高使用效率的需求，這套快速掃描系統，在不降低分辨率，不增加設備復雜性，不影響儀器操作成本的前提下，幫助用戶實現了即時快速得到高分辨高質量圖像的愿望。FastScan ™這一變革性技術重新定義了原子力顯微鏡的新高度。
| Icon AFM 掃描管 | FastScan AFM 掃描管 |
XY 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） | 35μm x 35μm（典型值）, 30μm 最小值） |
Z 方向掃描范圍 | 10μm（典型值），9.5μm（最小值） | ≥ 3μm |
縱向噪音水平 | <30pm RMS 值（在合適的環境下，典型的成像帶寬可達 625Hz） | <40pm RMS 值（在合適的環境下，典型的成像帶寬可達 625Hz） |
X-Y 針尖速度 (1% 軌跡誤差 ) |
| >2mm/S |
Z 針尖速度 |
| 12mm/S |
XY 方向閉環噪音水平 | ≤ 0.15nm RMS 值（典型的成像帶寬條件可達 625Hz） | ≤ 0.20nm RMS（典型的成像帶寬條件可達 2.5KHz） |
Z方向閉環噪音水平 | 35pm RMS 值（在合適的環境下，典型的成像帶寬可達 625Hz）；50pm RMS 值，力曲線帶寬 (0.1Hz 到 5kHz) | 30pm RMS （在合適的環境下，典型的成像帶寬可達 625Hz） |
XY 方向平坦度（30μm 范圍） |
| ≤ 3nm |
XYZ 方向的非線性參數 | <0.5% | <0.5% |
樣品尺寸和固定方式 | 210mm 直徑，真空吸附，≤ 15mm 厚 | 210mm 直徑，真空吸附，≤ 15mm 厚 |
180mm × 150mm 可 觀 測 區 域； 單 向 2μm 重復性；雙向 3μm 重復性 | 180mm × 150mm 可 觀 測 區 域； 單 向 2μm 重復性；雙向 3μm 重復性 | |
光學系統 | 5 百 萬 像 素 數 字 攝 像 頭；180μm 至 1465μm 可視區域 ; 數字化縮放，馬達驅動聚焦 | 5 百 萬 像 素 數 字 攝 像 頭；130μm 至 1040μm 可視區域 ; 數字化縮放，馬達驅動聚焦 |
控制器 | NanoScope V | NanoScope V |
震動隔離 | 可選防震平臺或隔音防震平臺，氣動式 | 可選防震平臺或隔音防震平臺，氣動式 |
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