顯微激光拉曼光譜儀
◆RealStandard激光拉曼的新時(shí)代
拉曼分光法和紅外分光法都是測定振動光譜法,但是和紅外分光法相比容易取樣,具有可以測量到紅外分光法無法測量的微小部位等特長的同時(shí),需要操作者具有一定的測量技能,包括決定的測量條件和能一定程度上調(diào)整光學(xué)系等的技能。NRS-5000/7000系列具有顯微激光拉曼光譜儀所要求的功能,可以自動控制系統(tǒng)和光學(xué)系,可以獲得穩(wěn)定的高精度的數(shù)據(jù)。搭載波數(shù)和拉曼強(qiáng)度的自動補(bǔ)正和測定建議輔助功能,具有高速映射功能。
◆NRS-5100/5200
NRS-5000系列的分光器,采用可對應(yīng)多種應(yīng)用軟件的焦點(diǎn)距離為300mm高性能分光器,最多可以搭載3枚光柵。搭載低波數(shù)測定組件的NRS-5200可以測量10cm−1的低波數(shù)領(lǐng)域的測量。
◆NRS-7100/7200
NRS-7000系列的分光器具有500mm的焦點(diǎn)距離、可實(shí)現(xiàn)高分辨率的測量。最多可以搭載4枚光柵。NRS-7200搭載低波數(shù)測量組件可實(shí)現(xiàn)低雜散光測量,可測量到5cm−1低波數(shù)領(lǐng)域。
◆具有良好硬件的拉曼測量
▼高性能的分光器
采用像差補(bǔ)正型Czerny-Tuner分光系統(tǒng)、可提高檢測器的成像功能,測到高質(zhì)量的光譜。波數(shù)移動再現(xiàn)性采取高精度直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)編碼器可實(shí)現(xiàn)0.1cm−1以下的高再現(xiàn)性。另外利用光柵自動切換功能可同時(shí)搭載多個(gè)光柵。
▼高強(qiáng)度、高剛性系統(tǒng)的高穩(wěn)定性
光學(xué)系配有不受環(huán)境溫度變化和抗震動的結(jié)實(shí)構(gòu)造的機(jī)箱。整個(gè)系統(tǒng)設(shè)置在鋁蜂窩材料臺上具有絕好的再現(xiàn)性。
▼DSF(DualSpatialFiltration)優(yōu)異共焦點(diǎn)性
由于共焦點(diǎn)光學(xué)系空間分解光圈的重疊,可以高精度的除去雜散光,從而可以只檢測焦點(diǎn)位置的拉曼散射光。由于這個(gè)裝置深度方向的分辨率為1μm(在Si電路板上)。另外,為了提高空間分辨率,在對熒光物質(zhì)進(jìn)行異物分析時(shí),可以除去基礎(chǔ)熒光的影響只導(dǎo)入樣品的拉曼散射光。
▼低波數(shù)測定
低雜散光分光器和高性能拒波濾光片組合標(biāo)準(zhǔn)可以測量50cm−1~。特別是測定及低波數(shù)的情況
,NRS-5200/7200搭載低波數(shù)測量組件是最合適的選擇。低波數(shù)測量主要適用于無機(jī)物或結(jié)晶多形體。
L-*的低波數(shù)光譜
◆自動化的的測定環(huán)境
▼光學(xué)調(diào)整的自動化
自動校準(zhǔn)是指用光傳感器來監(jiān)控激光,使用激光校準(zhǔn)鏡自動調(diào)整到最合適的位置。自動拉曼光路調(diào)整功能是指調(diào)整光軸將集光后的拉曼散射光的焦點(diǎn)在入射狹縫上。
▼SRI(SpatialResolutionImage)/SGI(SlitGuideImage)
SRI是指在顯微畫像上可實(shí)現(xiàn)激光和空間分解光圈畫像的重疊表示。SGI是指從分光器的入射狹縫側(cè)照射標(biāo)記用的LD激光,狹縫的畫像投影到顯微鏡臺上。
▼搭載多個(gè)激光,可實(shí)現(xiàn)樣品的測量
從UV到近紅外激光主機(jī)內(nèi)部2臺、外部最多可以搭載6臺、用軟件切換。NRS-5000/7000系列的標(biāo)準(zhǔn)激光為532nm的綠色激光。但是,在這個(gè)波長激發(fā)的話,有出現(xiàn)熒光不能準(zhǔn)確測量的樣品。這種情況使用785nm等的長波長激光可以抑制熒光的產(chǎn)生。
抑制了熒光的顏料拉曼光譜
▼雙重檢測器切換構(gòu)造和InGaAs檢測器
NRS-5000/7000系列作為選項(xiàng)可以搭載2臺檢測器。CCD檢測器和InGaAs檢測器、可以切換使用。對于即使在785nm也出現(xiàn)熒光難測量的活體樣品,農(nóng)產(chǎn)品等可在1064nm測到良好的拉曼波峰。
木材(木質(zhì)素)的拉曼光譜
▼多彩的顯微畫像觀察
顯微畫像是由內(nèi)置在主機(jī)內(nèi)部的高解像度的CMOS照相機(jī)表示在PC的熒屏上、通過數(shù)碼擴(kuò)大功能可以實(shí)現(xiàn)高倍率的觀測。用肉眼直接觀測或者用隨機(jī)像機(jī)以外的像機(jī)進(jìn)行觀測時(shí),可以安裝雙眼鏡筒或三眼鏡筒。
▼觀察功能
RS-5000/7000系列可以追加顯微鏡或微分干涉顯微鏡的功能。微分干涉觀察在觀察透明樣品等時(shí),樣品的對比度被著重,容易觀察。偏光觀察是指對于通常的可見光比較難觀察的單晶體,礦物質(zhì),高分子膠卷中的異物等,通過偏光觀察,可以比較容易。
觀察型光纖探針
▼宏觀測量和光纖探針測量
通過選項(xiàng)可以進(jìn)行宏觀測量和光纖探針測量。宏觀測量是指通過用直徑50?100μm的激光光束照射樣品,可以得到樣品平均信息。光纖探針測量適合于insitu測定或反映監(jiān)測。
◆新時(shí)代的高速成像SPRIntS成像系統(tǒng)
半導(dǎo)體材料的高分辨率成像1
(100倍物鏡、100nm間隔)
日本分光的SPRIntS成像系統(tǒng)、具有以下功能,通過掃描鏡激光高速掃描樣品進(jìn)行高速成像測定的VertiScan、高速讀取CCD檢測器數(shù)據(jù)的高速讀取功能、VertiScan和Z自動臺組合3D成像、AF自動聚焦和多功能聚焦功能。
半導(dǎo)體材料的高分辨率成像2
(100倍物鏡、40nm間隔)VertiScan激光對樣品垂直照射不破壞共焦點(diǎn)性,獲得無歪斜高品質(zhì)的圖像數(shù)據(jù)。因?yàn)榧す庠谧钚?5nm間隔移動(使用100倍物鏡時(shí))對微小結(jié)構(gòu)的解析發(fā)揮威力。從「半導(dǎo)體材料(硅膠)的高分辨率成像2」的數(shù)據(jù)可以確認(rèn)到大約250nm的空間分辨率。
▼3D成像
3D成像限度發(fā)揮共焦點(diǎn)的優(yōu)點(diǎn),把樣品的深度方向的信息跟平面信息結(jié)合,提供樣品的3D化學(xué)影像。
液晶面板結(jié)構(gòu)影像(左),作成顯示各層特征譜帶4D成像
全焦點(diǎn)畫像
▼自動聚焦和多焦點(diǎn)
成像系統(tǒng)附帶自動聚焦和多焦點(diǎn)功能。Z自動臺讀取并處理顯微鏡焦點(diǎn)位置變化的各個(gè)畫像,可以獲得在所有面焦點(diǎn)位置的全焦點(diǎn)畫像。另外,可以構(gòu)筑3次元形狀觀察圖像。
◆光譜管理器實(shí)現(xiàn)拉曼分析真正的標(biāo)準(zhǔn)
NRS-5000/7000系列軟件的開發(fā)和紅外顯微鏡IRT-5000/7000采用共通的理念,搭載意用的高度的解析功能。
▼測定程序
測量程序由根據(jù)功能不同分成不同的窗口來完成。對于測量數(shù)據(jù)可以即時(shí)進(jìn)行波數(shù)補(bǔ)正,感度補(bǔ)正、熒光補(bǔ)正、宇宙線除去。可以多點(diǎn)測量,線測量、3D測量,根據(jù)多重畫像合成大范圍的顯微畫像,設(shè)定測定點(diǎn)和測定區(qū)域。
測量光柵(左)和熒光補(bǔ)正前(右上)熒光補(bǔ)正后(右下)
、
解析程序(成像系統(tǒng))
▼解析程序
標(biāo)準(zhǔn)的分析程序包括:示差光譜,峰值檢測,曲線擬合以及熒光自動補(bǔ)正等功能。當(dāng)配備成像系統(tǒng)時(shí),從光譜圖可以計(jì)算峰高/峰高比,面積/面積比、峰值漂移量,頻譜帶寬的半值,附帶構(gòu)建化學(xué)圖像軟件。
▼規(guī)格
▼NRS-5000/7000
型號 | NRS-5100 | NRS-5200 | NRS-7100 | NRS-7200 |
分光器 焦點(diǎn)距離 | 像差補(bǔ)正Czerny-Turner型分光器 f=300mm | 像差補(bǔ)正Czerny-Turner型分光器 f=500mm |
波數(shù)驅(qū)動 | 高精度直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)編碼器方式 |
測量低波數(shù)組件 | - | 標(biāo)配 | - | 標(biāo)配 |
測定波數(shù)范圍 (拉曼波峰漂移值) | 50~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)阻波濾光片) | 10~8000cm−1 (532nm激發(fā)、測量低波數(shù)組件) | 50~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)阻波濾光片) | 5~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)阻波濾光片) |
分解 | 1cm−1/pixel(532nm激發(fā)) 選項(xiàng):0.4cm−1/pixel(532nm激發(fā)) | 0.7cm−1/pixel(532nm激發(fā)) 選項(xiàng):0.3cm−1/pixel(532nm激發(fā)) |
可同時(shí)搭載光柵數(shù)量 | 3枚 | 4枚 |
標(biāo)準(zhǔn)檢測器 | 電子冷卻CCD檢測器 |
檢測器切換 | 選項(xiàng) |
顯微觀察 | 高解像度內(nèi)置CMOS相機(jī) |
共焦點(diǎn)光學(xué)系 | 標(biāo)準(zhǔn) |
DSF | 標(biāo)準(zhǔn) |
SRI (空間分辨率成像) | 標(biāo)準(zhǔn) |
標(biāo)準(zhǔn)臺 | 手動XYZ臺 |
選項(xiàng) 樣品臺 | XY自動臺?Z自動臺 |
SPRIntS 成像 | 選項(xiàng): VertiScan、高速數(shù)據(jù)讀取、3D成像、 Z自動臺、自動聚焦 |
自動臺 成像 | 選項(xiàng):成像測定、3D成像、XYZ自動臺、 自動聚焦功能 |
自動調(diào)整機(jī)構(gòu) | 激光自動校準(zhǔn)、拉曼光自動調(diào)整 |
霓虹燈 | 標(biāo)準(zhǔn)(波數(shù)補(bǔ)正用) |
安全機(jī)構(gòu) | 聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)內(nèi)置電動樣品室門,激光光路保護(hù)機(jī)箱(1級標(biāo)準(zhǔn)) |