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上海珩澤科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-03-14 18:32:03瀏覽次數(shù)：137次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線簡(jiǎn)要描述：Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。
Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡是一款用于失效分析的高精度高性能且易使用的原子力顯微鏡，Park NX-Hivac可為用戶提供精確且高效的測(cè)量結(jié)果。
在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精準(zhǔn)的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。
Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上精細(xì)控制真空條件，在抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。
柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器
掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)
閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器
掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選50 µm × 50 µm)
Z位移臺(tái)行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)
樣品大小: 尺寸上限為 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可達(dá) 20 mm
樣品重量 : < 500 g
10倍長(zhǎng)工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel
內(nèi)真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm
真空等級(jí): 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達(dá)到 10-5 torr
AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡(jiǎn)易成像
手動(dòng)模式的使用和更精密的掃描控制
AFM數(shù)據(jù)分析軟件
自動(dòng)真空控制軟件
集成功能
4通道靈活的數(shù)字鎖相放大器
彈簧常數(shù)校準(zhǔn)（熱法，可選）
數(shù)字Q控制
外部信號(hào)接入
20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調(diào)制和交流偏置
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