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上海繪吉電子科技有限公司
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1200℃多坩堝依次移動型管式爐 OTF-1200X-II-ZL
OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內部移動的（在真空氣氛保護環境下移動）管式爐，最多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機構，可將坩堝在爐管內推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設備可進行物理化學混合沉積（HPCVD），快速熱蒸發（RTE）等實驗，特別適合制備多層二維晶體材料。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 開啟式管式爐 | ● 雙溫區管式爐：兩個獨立的溫控系統分別獨立控制兩個溫區 ● 加熱區長度：溫區1:200mm, 溫區2:200mm ● 爐管材料：高純石英 ● 爐管尺寸：外徑: 60 ×內徑: 54×長: 760 mm ● 溫度曲線圖(兩個溫區設置在800℃時所測，僅供參考）（可點擊圖片查看詳細資料） ● ● 工作溫度：1200℃（<1hr) ● 連續工作溫度：1100℃ ● 控溫精度：+/-1℃ ● |
| 真空密封 | 配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表 進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口 法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環水冷機 真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵) ● |
| 坩堝移動機構（轉輪式法蘭） | ● 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內部，并與坩堝相連接(圖1) ● 通過步進電機驅動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實時監測樣品的溫度 ● 進氣端法蘭轉輪式法蘭（圖2） ● 可同時在轉輪系統中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態或氣氛保護狀態進行運作） ● |
| 坩堝移動控制 | ● 通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置 ● 可控制坩堝最小移動位移為1mm ● 坩堝移動距離為200mm ● |
| 防腐型數顯真空計 | ● 配有一數顯防腐型真空計 ● 當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換 ● 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性 ● 因為傳感器上鍍有涂層，所以具有較好的抗腐蝕性 ● 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr ● |
| 混氣系統 | ● 此套設備中配有一2路混氣系統 ● 輸出功率：18W ● 工作溫度：5-45℃ ● 氣壓：3×106Pa ● 精度：±1%FS ● 質量流量計量程： ● 1:0-100sccm ● 2:1-199sccm ● 可根據客戶要求選購1-5路供氣系統 ● |
| 產品尺寸 | 2400L×600W×1300mm H ● |
| 質保 | 一年質保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質量認證 | ● CE 認證 ● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證 ● 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證 |
| 使用注意事項 | ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
| 應用注意事項 | ● 此款管式爐具有多種用途 ● 熱蒸發：把蒸發料放在坩堝里，通過移動坩堝來精確找到所需要的蒸發溫度 ● HPCVD：和熱蒸發相似，可通入反應氣體與蒸發的物料反應后再沉積 ● 可用于制作多層二維晶體 |
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