當前位置:杭州春來科技有限公司>>AQMS系列>> AM-5800型動態校準儀(便攜版)
稀釋氣流量范圍:(0~5)SLPM、(0~10)SLPM、(0~20)SLPM可選
校正氣流量范圍:(0~50)sccm、(0~100)sccm、(0~200)sccm可選
流量控制精確度:±1%F.S.
流量線性:±(0.5~1)%F.S.
流量控制重復性:±0.2%F.S.
臭氧發生器輸出:0.1μmol/mol ~6 μmol/mol(ppm)
響應時間:<60s(T98)
標氣輸入口:1個
稀釋氣輸入口:1個
工作溫度:5℃~40℃
工作濕度:0~95%RH
尺寸:178mm×432mm×620mm
重量:<15kg(基本單元)
電源:100VAC~240VAC,45Hz~60Hz
模擬輸出:10V、5V、1V、0.1V(可選)
通訊方式:RS232,RS485和以太網(選配)
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