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高純電子混合氣和超純氣體

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更新時間：2022-04-04 11:27:45瀏覽次數：211次

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產品簡介

國家科技重大專項02專項—“高純電子氣體研發和產業化"課題

詳細介紹





    國家科技重大專項02專項—“高純電子氣體研發和產業化"課題。目前產品已研制成功研制出10種電子混合氣體，各項指標達到用戶技術要求，形成每年10000瓶以上電子混合氣供貨和氣體配送能力，滿足極大規模集成電路的要求。
    電子混合氣技術指標如下：

混合氣體

指標

0.52%N2/He

6N/6N

1% O2/Ar

6N/6N

10% CH4/Ar

6N/6N

5% H2/He

6N/6N

4% H2/N2

6N/6N

0.5% O2/He

6N/6N

1.25% Kr/Ne

6N/6N

1.2% He/N2

6N/6N

3.5% Ar/10ppmXe/Ne

6N/6N/6N

30% O2/He

6N/6N

1.0%F2/1.25%Kr/Ne

 

1.0%F2/3.5%Ar/Ne

 

10%F2/N2

 


超高純氣體（6N）：N2、O2、H2、He、Ne 、Ar、CH4。

氣體品種

純度

容器規格（L）

充裝壓力（MPa）

He

6N

40/47

13.5

Ar

6N

40/47

13.5

Ne

6N

40/47

13.5

H2

6N

40/47

13.5

N2

6N

40/47

13.5

O2

6N

40/47

13.5

Kr

6N

40/47

13.5

Xe

6N

40/47

13.5


高純氣體：He、Ar、H2、N2、O2、CO2、CH4

氣體品種

純度

容器規格（L）

充裝壓力（MPa）

He

≥99.999%

40

13.5

Ar

≥99.999%

40

13.5

H2

≥99.999%

40

13.5

N2

≥99.999%

40

13.5

O2

≥99.999%

40

13.5

CO2

≥99.999%

40

15kg

CH4

≥99.99%

40

13.5


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