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深圳市慧爍機電有限公司
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PE-100是一款完整的等離子清洗系統或是反應離子蝕刻系統,帶真空泵.設計牢固和性能穩定,高性價比，讓那些初創工廠，醫療實驗室，研發機構，能夠使用PLASMAETCH的產品和技術PE-100提供三種功能配置：1.常規的等離子清洗和等離子蝕刻2.反應離子蝕刻（RIE）3.PE-100可轉換配置，一個系統包含各向異性和各向同性等離子體處理,可移除托盤配置
PE-100焊接鋁真空反應腔包含一個寬松的240平方英寸的有效等離子處理面積， 標準配置三層電極。采用工業粉末固化工藝，PE-100本體潔凈的設計，能在運行過程中減少污染物產生。
當使用PE-100作為反應離子蝕刻應用，電極會特別設計為直驅型等離子，意味著等離子接觸處理物表面，產生的等離子體向下流動或是鉆進的效果。這個過程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空間，這些工件通常不能夠通過化學清洗方法，因為液體流動會在小空間里面受到限制，比如過孔。
典型的客戶包括：*生產制造工程，研究和開發實驗室，測試工廠以及大學。工業客戶包括生物醫藥，牙科，電子，光電子，科研，塑料，光學，太陽能電池電池板等。.
使用我們的等離子清洗機刻蝕，比較化學浸泡方法，可以避免昂貴的有害化學廢水處理。等離子處理非常容易使用，通過導引型觸摸屏操作控制等離子過程的各個參數，來確保高重復性。
我們可以客戶化配置反應腔和電極，來滿足您的產品或是過程需要，包括客戶化尺寸水平電極，RIE(反應離子蝕刻) 和半導體引線邊框的布局。
標準特性
焊接鋁真空反應腔
3層水平處理電極 9" 寬 x 13" 深 3" 間隔距離
300 瓦射頻發生器 @ 100KHZ
一個0-50sccm質量流量控制器
皮拉尼真空計0-1托
微處理器控制系統，帶觸摸屏界面, 存儲一組過程參數
8CFM帶氧氣供應真空泵
真空泵油水分離器
可選項目特性
300 W射頻發生器 @ 13.56 MHZ
靜電防護
過程溫度控制
氮氣輸入系統，用于延長真空泵壽命
RIE(反應離子蝕刻)配置
客戶化電極尺寸和配置
電氣和尺寸：
系統重量：等離子反應器 160lbs，真空泵68lbs
系統尺寸：等離子反應器 17“ X 28" X 30"， 真空泵6 “ X 18" X 9"
廠務條件：
電壓：220伏交流， 50HZ, 13A, 單相
壓縮氣體供應80-100psig <0.5 CFM
可調過程氣體15-30PSIG
溫度低于29.5攝氏度，非冷凝您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
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