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更新時(shí)間：2022-05-24 09:54:08瀏覽次數(shù)：254次
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一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中，半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)
產(chǎn)品用途： | ||||||
一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中，半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級(jí)甚至更高的潔凈度可保護(hù)這些材料不被污染。 | ||||||
型號(hào) | ZK-DQKX-072 | ZK-DQKX-270 | ZK-DQKX-480 | ZK-DQKX-600 | ZK-DQKX-720 | ZK-DQKX-1000 |
內(nèi)箱尺寸 | 40×45×40 | 60×90×50 | 80×100×60 | 100×100×60 | 100×120×60 | 100×100×100 |
W×H×D (cm) | ||||||
外箱尺寸 | 72×116×56 | 93×163×67 | 110×172×77 | 130×172×77 | 116×170×116 | 116×150×166 |
W×H×D(cm) | ||||||
溫度范圍 | 室溫+25℃～200℃（300℃） RT+25℃～200℃(300℃) | |||||
溫度波動(dòng)度 | ±0.3℃ | |||||
溫度均勻度 | ±1%℃ | |||||
解析精度 | 0.1℃ | |||||
氧氣濃度 | 0-2000 PPM | |||||
升溫時(shí)間 | 30分鐘 | |||||
外箱材質(zhì) | 冷軋板+烤漆 | |||||
內(nèi)箱材質(zhì) | SUS#201不銹鋼板（200℃以上材質(zhì)為SUS#304不銹鋼板） | |||||
隔熱材質(zhì) | 玻璃棉 | |||||
循環(huán)系統(tǒng) | 離心風(fēng)機(jī)風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | |||||
加熱系統(tǒng) | SUS#不銹鋼高速加熱器 | |||||
控制系統(tǒng) | 按鍵式數(shù)顯控制器 | |||||
氮?dú)庀到y(tǒng) | 流量計(jì)+壓差表（選配氧氣分析儀） | |||||
附件 | 控制狀態(tài)指示燈，隔層架（2個(gè)，高度可調(diào)） | |||||
安全裝置 | 相序保護(hù)，超溫，過流，過載 | |||||
電源 | AC 3Ψ 380V 60/50Hz | |||||
定制服務(wù) | 非標(biāo)特殊要求，可定制 | |||||
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)： | ||||||
A、材質(zhì)：內(nèi)部采用不銹鋼板制造，外部SS41鋼板鐵材加防銹處理及粉體烤漆 | ||||||
B、保溫：采用高密度100K的耐高溫保溫棉﹐六面保溫絕熱。 | ||||||
C、門 ：?jiǎn)伍_門式,美式全開后鈕，門四周皆裝置耐高溫硅膠迫緊,堅(jiān)固耐用. | ||||||
D、換氣裝置：換氣量采用全進(jìn)全出可調(diào)式風(fēng)門,可直接與排風(fēng)管連接. | ||||||
E、機(jī)臺(tái)滑輪：采滑輪移動(dòng)調(diào)整擺放位置與強(qiáng)力螺栓固定位置 | ||||||
F、箱內(nèi)盤架：標(biāo)配可活動(dòng)調(diào)整柵盤架或不銹鋼條狀柵盤二只 | ||||||
G、送風(fēng)系統(tǒng)：特制耐高溫烤箱專用馬達(dá)，配合多翼式風(fēng)輪高速運(yùn)轉(zhuǎn)及單面水平送風(fēng)循環(huán),溫度均勻。 | ||||||
H、電熱系統(tǒng)：采用覆套式電熱器無塵化電熱發(fā)生器，低輻射熱不易氧化，耐用期限5～10年。 | ||||||
產(chǎn)品特點(diǎn)： | ||||||
1. 內(nèi)外箱材質(zhì)：外箱為鋼板烤漆 內(nèi)膽為鏡面不銹鋼 | ||||||
2. 保溫材質(zhì)： 高效壓縮玻璃棉 | ||||||
3. 保溫裝置： 無熔絲開關(guān)，超溫保護(hù)開關(guān)，瓷質(zhì)保險(xiǎn)絲 | ||||||
4. 配 件： 可調(diào)隔層板2-6件 | ||||||
5. 電 源： 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地 | ||||||
6. 風(fēng)機(jī)延時(shí)斷電功能(可另購(gòu)配程控) | ||||||
7.高溫氮?dú)夂嫦?/span>保險(xiǎn)裝置: 次超溫報(bào)警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護(hù),溫度自整定,電熱鰭片式散熱管形電熱管 | ||||||
8. 運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)： 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及特別設(shè)計(jì)出風(fēng)口,溫度分布均勻度特佳 | ||||||
9. 控制形成 ：溫度到達(dá)設(shè)定溫度后自動(dòng)打開時(shí)間計(jì),時(shí)間到達(dá)后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示 | ||||||
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