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北京麥迪森科技有限公司
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| 材質 | 其他 | 驅動方式 | 其他 |
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Agilent安捷倫TSP常溫屏蔽罩和低溫擋板設計用于與 TSP泵芯結合使用。兩種產品都為鈦濺射提供了較大的表面積。
Agilent安捷倫TSP常溫屏蔽罩和低溫擋板設計用于與 TSP泵芯結合使用。兩種產品都為鈦濺射提供了較大的表面積。如果在超高真空等真空下使用，低溫擋板（低溫罩）可在水冷/液氮冷卻下使用。如果不能或不希望進行冷卻，常溫屏蔽罩可以提供比未冷卻低溫板更高的抽速。
使用常溫屏蔽罩或低溫擋板與TSP泵芯，提高活性氣體的抽速，更快達到超高真空等真空狀態。常溫屏蔽罩可以為活性氣體提供高抽速。在非常低的壓力下，殘留氣體負荷為氫氣，當升華鈦處于低溫罩提供的較低溫度時，氫氣的抽除效率較高。
產品特點
·低溫擋板或常溫屏蔽罩可為 TSP 的升華鈦提供更大的表面積，避免真空系統發生不需要的鈦膜沉積。
·用液氮冷卻時低溫擋板可達到很高性能。
·TSP低溫擋板可在水冷卻或液氮冷卻下運行。
·常溫屏蔽罩不需要冷卻。
·可與具有雙法蘭或帶側孔的離子泵集成。
·安裝在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上，還包括一個用于安裝 TSP 泵芯的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。
·可獨立安裝在深度/間隙為 11 英寸的任意 8 英寸 (NW 150) CFF 接口上。
·不包括 TSP 泵芯。
產品尺寸
產品選型
9190180 | 低溫擋板，DN 160 CF-F（8 英寸 CFF） | 可單獨使用或與 VacIon CombiTSP 泵配合使用 |
9190180M001 | TSP 常溫屏蔽罩 |
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