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日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S 超聲波儀器

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所在地深圳市

更新時間:2024-05-17 11:01:54瀏覽次數:1687次

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測量范圍 1m3/h
日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S
IPA、純水、藥液等半導體制造工序中的微小區域的流量控制?

日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S

image.png

IPA、純水、藥液等半導體制造工序中的微小區域的流量控制

?1ml/min起的微量流量測量

?通過數字信號處理的微量流量高精度測量
?傳感器部采用非接觸結構有流體
?范圍廣

日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S

產品規格
■ 微小液體流量計(分體式)

µLF-300S

模型μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸)
測量原理超聲波傳播時差法
待測液體純水、水溶液、各種化學溶液
* 如果使用水以外的液體,請事先確認。
適用流體溫度范圍15°C 至 80°C
*如果在 60°C 或更高溫度下使用,請提前檢查
流體壓力0.5MPa以下 
流體運動粘度100mm^2/秒或更小 
流量范圍0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
測量精度±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 條件:常溫、恒溫水)
±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min)
±0.5%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min 條件:常溫、恒溫水)
±4ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min)
重復性±0.2%(純,液溫±0.5℃,30秒平均值) 
電源DC24V ±10%
能量消耗3.6W以下
重量傳感器 240g,檢測器 70g 
尺寸 WxHxD(mm)傳感器 97 x 49 x 127
檢測器 90 x 25 x 20(不含管)
檢測單元
管材PFA(氟樹脂)
管徑1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內徑:4.35 毫米
結構體相當于IP65
附屬電纜5m,連接器連接
輸入部分
數字輸出4 線 RS-422、4 線 RS-485 
模擬輸出4-20mA(瞬時流量),負載電阻500Ω以下 
集成脈沖輸出1ch(集電極開路) 
報警輸出1ch(集電極開路)
接點輸入1ch(零流量設置或累計清除)
按鍵輸入4 輸入鍵


日本sonic超音波小型液體流量計SLF-100 超聲波儀器

日本sonic超音波小型液體流量計SLF-100$r$n符合節能法修訂

日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S 超聲波儀器

日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S$r$nIPA、純水

日本sonic超聲波氣體流量計GF-2500S 超聲波儀器

日本sonic超聲波氣體流量計GF-2500S$r$n用于空氣、蒸汽、

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