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日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備
YIS 系列的高倍率檢測(cè)設(shè)備可在螢?zāi)簧铣尸F(xiàn)一個(gè)10mm的視場(chǎng)。
特別廣泛應(yīng)用于磊晶處理后的滑線檢查。同時(shí)也適用于硬碟或光學(xué)拋光元件。
檢測(cè)靈敏度約相當(dāng)于50倍的微分干涉像差顯微鏡。
即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１。
光學(xué)系統(tǒng)無(wú)須維護(hù)。
根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容，可修正檢測(cè)靈敏度。
- 日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備
| 檢測(cè)尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測(cè)內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測(cè)倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 檢測(cè)靈敏度 | 檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺(tái) | 手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測(cè) |
| 滑線檢測(cè) |
| 玻璃基板檢測(cè) |
| 其他鏡面基板檢測(cè) |
選配
| 電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái) |
| 自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機(jī) |
| 搬運(yùn)裝置 |
※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過(guò)來(lái)，之后我們?cè)賹⒂跋窠Y(jié)果回寄。
日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備
| 檢測(cè)尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測(cè)內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測(cè)倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 檢測(cè)靈敏度 | 檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺(tái) | 手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測(cè) |
| 滑線檢測(cè) |
| 玻璃基板檢測(cè) |
| 其他鏡面基板檢測(cè) |
選配
| 電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái) |
| 自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機(jī) |
| 搬運(yùn)裝置 |
※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過(guò)來(lái)，之后我們?cè)賹⒂跋窠Y(jié)果回寄。
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