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日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
超高純度小型氣體凈化器 GP/GPF系列
- 不同條件下，可去除可惰性氣體和特殊氣體中1PPB以下的水分、氧氣、氫化物等雜質(zhì)。
- 內(nèi)置的初步過濾用的濾材全部標(biāo)準(zhǔn)使用SUS316L，不會(huì)引起腐蝕產(chǎn)生生顆粒等化學(xué)反應(yīng)。
- HBr、HCl等強(qiáng)腐蝕性特殊氣體中所含水分，100PPB（分析裝置的檢測(cè)界限）以下可以去除。
- 小型、輕量的GP-05型和過濾器同樣大?。ㄩL度84mm），僅重120g。
- 根據(jù)不同氣體類型，350℃－400℃的加熱再激活處理可在使用壽命期限內(nèi)多次重復(fù)使用。
| 凈化能力 | 雜質(zhì)：1PPB以下 出口側(cè)雜質(zhì)合計(jì)：10PPB以下 （和條件相關(guān)） |
|---|---|
| 材質(zhì) | 外罩：SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 濾材：SUS316L 凈化劑：金屬?吸氣劑、其它 |
| 流量范圍 | 0.5LPM～20LPM（隨類型/壓力條件變化） |
| 使用壓力 | 0.97MPa（140.65PSIG） |
| 使用溫度 | 室溫或者350～400℃（隨用途變化） |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec 以下 |
| 連接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
氣體凈化器
超高純度氣體凈化器能夠高效率除去惰性氣體和特種氣體中的水分、氧氣、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。
- GP/GPF系列： 凈化材料：金屬、吸氣劑、其它
- GPFC系列： 凈化材料：單一球狀活性炭
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