日本hamai高純度氣體兼容容器閥

高純度氣體兼容容器閥

與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用于半導體制造等

一種高純度氣體的容器閥，與半導體制造中使用的高純度氮氣，高純度氧氣和液化氨兼容。根據氣體的種類，我們有各種車身材料（如黃銅和不銹鋼）以及各種各樣的結構（如背板類型和隔膜類型）的產品陣容。

G-12型銅后座閥

[功能]高純度氣體用黃銅后座閥，閥體采用C3771材料。通過*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結構追求更高的氣密性。

[規格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

G-55L型黃銅隔膜閥

[特征]銅制隔膜閥，通過研磨膜片和非油脂規格，可支撐更高純度的氣體。通過采用與SUS-55LN型相同的結構，可以實現高耐用性。雙O形圈結構是疏散的理想選擇。

[規格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃

SUS-12型不銹鋼隔膜閥

[特點]高純度氣體用不銹鋼后座閥，具有與銅G-12型相同的結構，并使用SUS316L，對閥體具有優異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。

[規格]
，不銹鋼
-flammable
，不易燃
，助燃

?氣體快速逸出，可以縮短檢查周期
?搜索氣體的改變是一觸式
⇒使用大氣氮氣檢查泄漏和總泄漏量后，
　氬氣可以通過切換到模式來確定泄漏位置。

-由于沒有吸收或滲透到彈性體中，因此可以進行可靠的泄漏檢測。

當排出各種氣體時，每種氣體都會發出自己*的光。通過測量這些光的每個波長的光譜強度，可以測量各種氣體的分壓。從該分壓計算出每種氣體的泄漏量。
由于它可以測量光線，因此甚至可以很容易地測量低真空。
（右圖是各種氣體的發射顏色的示例。）

發射光譜1.png

右圖是確認使用已知電導率的元件在大氣壓空氣下進行靈敏度校準后，使用氬氣測量泄漏量的精度的圖表。通過在大氣中校準一次，可以準確測量高達10-8 Pa·m3 / s的氣體，而與氮氣和氬氣等氣體類型無關。

SLD氬氣敏感性特征圖.png