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日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

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更新時間:2024-05-12 07:04:16瀏覽次數:1635次

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日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
該裝置是用于防止由于單晶片清潔裝置的主排氣管道中的壓力波動而在制造過程中波動的裝置。*開發的氣動橡膠膨脹閥可實現小尺寸且壓力損失極低的高速壓力控制。通過適當地控制排氣壓力,也可以適當地控制排氣流量,因此可以通過控制排氣管的總流量和壓力來顯著降低能量成本。

日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

 

主要用途

  • ♦單晶圓清洗設備的腔室壓力控制
  • ♦清潔送風室和清潔卡車室的壓力控制
  • ♦受排氣管壓力波動影響的設備和工藝
  • ♦液晶氣刀罐排氣壓力控制
  • ♦潔凈室的排氣壓力控制

規格
可從5A開始
物品EPS-5200EPS-5150EPS-5100
連接管口徑200A150A100A
流量范圍(一次側)0.5至15 Nm3 /分鐘0.5-10 Nm3 /分鐘0.3-5 Nm3 /分鐘
如果流量小于最小流量,則可能無法達到設定壓力。
壓力損失50 Pa at 15 Nm3 / min(空氣)10 Nm3 / min時20 Pa以下(空氣)10 Nm3 / min時20 Pa以下(空氣)
控制閥連接200A管道150A水暖100A管道輸出
調整壓力范圍(一次壓力)-50至-999Pa(取決于與大氣壓和二次??壓力的壓差)
二次壓力(閥門下游壓力)(控制壓力-50)Pa以下
如果壓差小于此值,則主要調節范圍將變窄。
壓力精度滿量程的±2% 
控制紋波(穩定控制期間的變化)滿量程的±1%(在二次壓力波動的±10 Pa內)
耐壓(一次壓力)50kPa以內(與大氣壓的壓差)
反應性在2秒鐘內達到設置的98%(典型值)
流體溫度10-50℃
主機環境溫度(精度保證溫度)15-35℃
電源電壓24V DC±10%
外部輸出壓力信號:1-5V DC
報警:NPN晶體管集電極開路DC 30V <100mA
控制器(CD-100)現場設置或外部設置均可切換
外部設定信號壓力設定信號:4?20mA
閥門:強制打開,控制
(選件)控制/打開(C / O):24V DC ON / OFF
報警信號壓差(可選設置)
身體異常(包括壓力控制器異常)
串行通訊RS485
供氣(N2)壓力0.3±0.1兆帕
每個端口Φ6mm一觸式(閥門,電動氣動部分)
Φ4mm一鍵式(用于壓力測量)
閥門的供應管道是可選的
氣體接觸材料PVC,Viton,EPDM
安裝姿勢自由
控制閥狀態電源關閉時保持閥狀態
 

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