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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
可以測量從半導體等精密加工產品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。
緊湊的尺寸
輕松連接，僅 USB 連接
光學常數分析（折射率/消光系數）
| 光學鍍膜 | 硬涂層、防滴膜等 |
|---|---|
| 平板 | 有機膜等 |
| 模型 | F3-CS-UV | F3-CS | F3-CS-近紅外 |
|---|---|---|---|
| 測量波長范圍 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm |
膜厚測量范圍 | 3nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 250μm |
| 準確性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | |
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | |
*取決于樣品和測量條件
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