介質要求

潔凈干燥無腐蝕性氣體

介質種類

空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳

氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等

量程

0...10/50/100/500/1000 SCCM (每分鐘標準毫升)

0...5/20/50/100/200 SLM(每分鐘標準升)

（其它量程可咨詢定制）

量程比

0.388888889

精度

±1.5% F.S.

分辨率

*低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升)

重復性

0.25%

響應時間

默認 1S，可根據用戶需求調整

流量壓損

<600Pa

環境條件

介質溫度

0~50℃

工作溫度

-20~70℃

工作濕度

10%...90%RH（無結冰，無凝露）

工作壓力

0...10bar

儲存溫度

-20~85℃

供電電壓

DC8-24V

功耗

32mW

顯示方式

液晶屏

通信接口（RS485）

接口類型

4 芯航空插頭

通信速率：

9600

協議：

RS485（默認 Modbus-RTU）

設備地址：

1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)

*大節點數：

250

機械參數

接頭類型：

4mm，6mm，8mm 快速接頭

協議定制

主體材質：

接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365鋁合金（7075航空鋁）

不銹鋼1.4301(不銹鋼304)

不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)

外殼：陽極氧化鋁

密封材質：

FKM 氟橡膠

重量：

鋁：≈0.75kg

不銹鋼：≈1.5kg