熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。已廣泛應用于工業生產和社會生活中，用于測量氣體的質量流量。典型應用包括對天然氣和壓縮空氣的測量和計量以用于能源利用和成本核算、對電廠空氣質量流量的測量以用于提高鍋爐燃燒的效率、對工業生產中的氣體質量流量測量以進行工業生產。
熱式氣體質量流量計的優點如下：
(1)熱式氣體質量流量計可被測量的流體管道口徑范圍廣，能夠應用在各種口徑的管道流量測量，從小、中口徑到特大口徑管道都可以，口徑可達 9000mm。
(2)流速測量范圍廣，可測量 0.02m/s~480m/s 范圍內的流體流速。
(3)測溫范圍和耐壓范圍很寬.待測氣體的溫度高達 900℃,可用于各種高溫過程氣體的測量，最高可以在 70MPa 的壓力下進行測試，測量過程中不需要溫度和壓力補償。所以在較大直徑管道、較小流速、微小流量、測量流量浮動范圍較大時，具有一定的優勢。
(4)可保證較高的測量精度，一般的熱式氣體質量流量計都屬中等精度測量范圍,其中部分儀表，如插入式、電磁式，可以達到高精度測量。國外進口的高精度儀表滿量程誤差可以達到±1%。
(5)寬量程比，量程比可以達到 1000:1，且能保持精度要求。
(6)可測量混合氣體。
(7)機械設計簡單，容易安裝和調試，維修簡單，防振動，插入式只需要在管道上焊接法蘭盤即可，管段式只需要進行管道轉接，安裝和操作方便。
(8)不需要溫度和壓力補償。
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