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合肥智測電子有限公司
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工作原理：利用NTC熱敏電阻在的測溫特性，電阻值隨著溫度上升而迅速下降。利用這一特性, 我們可阻通過測量NTC電阻值來確定相應的溫度，從而達到檢測和控制溫度的目的。光刻機曝光光學系統±0.001℃精度溫度傳感器
引言
光刻機（Mask Aligner）又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
光刻機工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產生光刻膠流動。因此溫度對于光刻的成品率起著重要的決定性因素
光刻機工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產生光刻膠流動。因此溫度對于光刻的成品率起著重要的決定性因素
產品介紹
NTC測量模塊是一種以負溫系數熱敏電阻為感溫探頭的傳感器。NTC是合肥智測電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測量產品，支持4線制熱敏 電阻測量，測量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS協議，包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII協議，NTC測量模塊采用24V直流電壓供電，提供4線制熱敏電阻溫度測量，用戶可輸入NTC 特征參數，精度可達±0.02℃。模塊配備了RS485通訊接口，支持MODBUS協議，可提供 用戶二次開發。獨立的電源開關可單獨控制模塊供電。
NTC測溫模塊廣泛應用于電子、半導體、LED、空調,冰箱、冷柜、熱水器、飲水機、暖風機、洗碗機、消毒柜、洗衣機、烘干機等家電設備上、汽車空調、水溫傳感器、進氣溫度傳感器、發動機、開關電源、UPS不間斷電源、變頻器、電鍋爐等
半導體生產涂膠機高精度測溫模塊、半導體生產涂膠機高精度測溫儀、半導體生產涂膠機溫度探頭、半導體生產涂膠機溫度傳感器、光刻機曝光光學系統高精度測溫模塊、光刻機曝光光學系統高精度測溫儀、光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭、光刻機曝光光學系統溫度傳感器、浸沒式光學系統高精度測溫模塊、浸沒式光學系統高精度測溫儀、浸沒式光學系統高精度溫度探頭、浸沒式光學系統高精度溫度傳感器、光刻機曝光光學系統高精度測溫模塊、光刻機曝光光學系統高精度測溫儀、光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭、光刻機曝光光學系統高精度溫度傳感器、半導體裝備超潔凈流體溫度檢測高精度測溫模塊、半導體裝備超潔凈流體溫度檢測高精度測溫儀、半導體裝備超潔凈流體溫度檢測高精度溫度探頭、半導體裝備超潔凈流體溫度檢測高精度溫度傳感器、半導體裝備流控系統溫度檢測高精度測溫模塊、半導體裝備流控系統溫度檢測高精度測溫儀、半導體裝備流控系統溫度檢測高精度溫度探頭、半導體裝備流控系統溫度檢測高精度溫度傳感器
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