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日立掃描電子顯微鏡SU1510

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更新時間:2022-08-22 15:38:48瀏覽次數:1657次

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產品簡介

日立掃描電子顯微鏡SU1510采用精巧化設計,比同類設備分辨率和配置相同情況下,體積縮減20%,節約空間,標配二次電子和背散射探測器,便于形貌和襯度的同時觀察,具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長襯管等*設計。

詳細介紹

日立掃描電子顯微鏡SU1510

產品介紹:

采用精巧化設計,比同類設備分辨率和配置相同情況下,體積縮減20%,節約空間,標配二次電子和背散射探測器,便于形貌和襯度的同時觀察,具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長襯管等*設計。

主機寬度僅為55cm,體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

 

日立掃描電子顯微鏡SU1510主要特點:

1、儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。

2、標配低真空功能,可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。

3、樣品臺可載入zui大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進行EDX分析。

4、強大的鼠標控制功能,可實現電鏡的所有操作。

5、分子泵真空系統,潔凈無污染。

 

技術參數 :

二次電子分辨率

3.0nm(高真空,30kV)

背散射電子分辨率

4.0nm(低真空:60Pa,30kV)

倍率

5 ~ 300,000倍

加速電壓

0.3~30 kV

樣品臺

X  0~80mm

Y  0~40mm

Z  5~50mm

T  -20~80mm

R 360°

樣平臺控制

手動(可選:2軸馬達)

zui大載入樣品尺寸

直徑:153mm

zui大觀察范圍

直徑:126mm(XYR并用)

zui大樣品高度

60mm (WD=15mm)

低真空范圍

6-270Pa(從菜單設定)

燈絲

預對中鎢燈絲

物鏡光闌

4孔可變光闌

槍偏壓

固定比例偏壓、手動偏壓、自動4偏壓

檢測器

二次電子檢測器,高靈敏度半導體背散射電子檢測器

EDX分析位置

WD=15mm,TOA=35°

真空系統

分子泵1臺,機械泵1臺

安全措施

停電,漏電,自動保護

 




應用領域:

半導體

生物

高分子

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