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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

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更新時間:2022-08-22 15:38:48瀏覽次數:525次

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產品簡介

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15, 具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺設計,為不同尺寸、形狀、數量的樣品提供了方便可靠的測試環境。解耦合的閉環XY掃描器,消除了彎曲效應誤差,提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式,擴大了適合樣品種類,同時*地延長了探針壽命,降低了使用成本。

詳細介紹

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

儀器簡介:

    Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺設計,為不同尺寸、形狀、數量的樣品提供了方便可靠的測試環境。解耦合的閉環XY掃描器,消除了彎曲效應誤差,提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式,擴大了適合樣品種類,同時*地延長了探針壽命,降低了使用成本。

 

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術參數:

掃描器

XY掃描器

柔性制導閉環控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm(可選50μm*50μm)

平面偏移度:<2nm(40μm*40μm掃描)

 

Z掃描器

柔性制導強力掃描器

掃描范圍12μm(可選25μm)

共振頻率:>5kHz

表面成像噪聲:0.03nm

 

樣品臺

樣品臺種類:16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺(可選200mm直徑真空吸附臺)

樣品尺寸: 150mm*150mm*20mm

樣品重量:zui大500g

樣品臺移動范圍:150mm*150mm(可選200mm*200mm)

 

主要特點:

 

一、創新的多位點樣品臺設計,提供工作效率

●一次操作zui多可以掃描16個樣品

●樣品安放簡單,掃描迅速

●*提高了數據的精確性和重復性

 

二、支持超大樣品,滿足業界發展需要

●zui大支持200 mm晶圓,滿足用戶目前和今后的需要

●滿足半導體相關用戶實際需要的專門設計

 

三、豐富的功能模式選擇

●完善支持各種SPM功能

●支持多種選配測量模式

●支持各種可選配件,擴展性能*


關鍵詞:顯微鏡
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