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長春市博盛量子科技有限公司
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產品型號：ATLEX-500-L品牌名稱：德國ATLLasertechnik產品特點：·TMC（全金屬陶瓷）管路·電暈預電離·固態開關·延長動態和靜態氣體壽命（數月）·激光頭容積6L·全部風冷·RS-485、RS232、USB及光纖接口·可沖洗光具座·集成4閥系統
產品型號：ATLEX-500-L
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
產品特點：
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 電暈預電離
· 固態開關
· 延長動態和靜態氣體壽命（數月）
· 激光頭容積6 L
· 全部風冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統，便于氣體處理
· 能量穩定模式
· 符合歐洲CE標準，符合RoHS規范
· 模塊化設計/服務友好
產品參數：
| ATLEX-500-L產品參數 | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 重復頻率 | 500 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
| 光束發散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
| 能量穩定性（標準偏差） | < 2 | % | |
| 尺寸（長x寬x高） | 600 x 415 x 567 | mm | |
| 重量 | 70 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | | |
所有規格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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