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北京錦正茂科技有限公司
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高低溫真空磁場探針臺T8-EM4的技術指標

時間:2023/2/13閱讀:63
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錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(可選6個或8個)擁有高精度位移的探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。

測試范圍:

磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試,微電子機械系統,超導電性測試,納米電路的光電屬性,量子點和線,高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等。

 

技術指標:

型號 :T8-EM4

真空度:高達10-8Pa

腔體材質:無磁不銹鋼或者鋁合金

磁場范圍:2000Gs @50mm

磁場方向 :水平(可按用戶要求設計成豎直方向的)

配套電源:雙極性電源±50A

電源穩定性 :50ppm(可選10ppm

制冷方式 :液氦/液氮制冷/閉循環制冷機

溫度范圍 :5K-325K可選500K

控溫分辨率:0.001K控溫儀相關

溫度穩定性 :優于0.1K依賴于控溫儀

溫度傳感器 :硅二極管/PT100/CernoxTM

傳感器數量: 樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個

樣品臺尺寸:(max) Φ50mm,平整度≤7μm

樣品臺固定方式: 真空硅脂/彈簧壓片

樣品臺材質: 鍍金無氧銅

顯微鏡行程: XY平面2*2inch,精度1μmZ軸行程≥50.8mm

放大倍數 :16~100X/20~4000X

真空腔觀察窗尺寸: 1inch

窗口材料 :熔融石英(可選K9、氟化鈣等)

探針臂數量: 2468可選

探針臂行程: (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

位移精度 :10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

接口形式 :普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA

探針直徑 :0.51mm

針尖直徑 :10μm/5μm/1μm可選

探針材料: 鎢/GGB

供電電壓 :AC220V 50Hz/60Hz

 




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