霧滴大小分布
超聲波霧化時，霧滴的大小是由噴頭的振動頻率、液體的表面張力和密度來決定的，其中頻率是決定因素，頻率越高，霧滴大小中位數直徑越小。
一般而言，超聲波噴頭產生的霧滴大小分布情況是遵循正態分布曲線的，下圖表顯示在不同頻率下以水為介質的霧滴大小累計分布情況。有幾個參數可描述霧滴特定分布的平均及中位數，霧滴數目中位數直徑是指霧滴大小的50%點，也就是霧滴數目中有 一半的直徑大于這個值而另一半小于這個值。
霧滴數目平均直徑和體積平均直徑都是平均直徑，數目平均直徑是指把一個噴霧樣本中所有霧滴的直徑相加除以霧滴的數量，體積平均直徑是指把一個噴射樣本中所有霧粒的體積相加(體積與直徑的立方成正比)，取其立方根，再除以霧滴的數量。
影響超聲波霧化效果的主要因素：
一、液體性質
液體的物理化學性質會直接影響霧化器的霧化效果，包括液體的粘度、表面張力等。對于有固體粉末的溶液來講，還包括固含量、固體顆粒尺寸。一般來說，液體越粘稠，越難形成小液滴；液體的表面張力越大，液滴越難霧化。固含量越高、固體顆粒尺寸越大，液滴越難霧化。
二、噴頭尺寸和形狀
超聲波噴頭是超聲波噴涂的核心部件，超聲波噴頭的頻率和結構會影響霧化效果。一般來說，頻率越高，霧化出的顆粒越小，相對霧化能力越弱。不同的噴頭結構影響霧化能力、霧化效果(比如霧化的幅寬、形狀等)。
超聲波噴嘴
三、噴涂速度
超聲波噴涂速度也對霧化效果有著一定的影響，一般來說不同噴頭，對應不用的溶液都有一個霧化能力的極值。在范圍內，可以通過調整噴頭的功率，來實現液滴霧化的效果；但當超過極值時，會出現液滴不能霧化的情況。這時候我們就要控制噴涂速度，即供液流量。
