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北京北方大河儀器儀表有限公司
VSM系列超高真空真空規1000到5e-9mbar德國Thyracont斯拉特Smartline超高真空真空規VSM77D、VSM77DL、VSM77E、VSM78D、VSM78DL、VSM78E、VSM79D、VSM79DL、VSM79E
德國Thyracont斯拉特Smartline超高真空真空規VSM77D、VSM77DL、VSM77E、VSM78D、VSM78DL、VSM78E、VSM79D、VSM79DL、VSM79E。從大氣壓到超高真空的壓力,數顯真空計VSH(皮拉尼/冷陰極)都可以測量。微控制器可以自動控制兩個真空傳感器間的相互作用。Smartline真空計著在安全、精確、價廉的技術向前發展。
典型應用:
·分析儀器
·涂料廠和氣相沉積
·真空爐
·過程工程
·測量和控制超高真空
·濺射廠
優點:
·傳感器測量范圍廣Pirani/cold cathode
·Pirani自動控制冷陰極傳感器
·Pirani傳感器可以保證冷陰極在低壓時的正常操作,延長使用壽命
·傳感器結實耐用
·測量單元體積小,例如VSM77D是9CM3
·良好的啟動裝置
·空氣入侵不影響測量
·兩個獨立、浮動電位繼電器開關
·LED顯示儀器狀態和開關點
·傳感器可更換
·Pirani和冷陰級傳感器的不同氣體的校正因子可以校準壓力讀數
·可以連接Thyracont公司生產的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模擬輸出信號1.819-8.6V或EtherCAT
·通過按鍵或接口調整零點和大氣壓
·LCD顯示(VSM77DL,VSM79DL)
·如果出現錯誤,屏幕閃爍紅色,正常工作狀態是綠色(VSM77DL,VSM79DL)
·和PLC連接方便
·數字輸出信號可以遠程傳輸(最遠距離500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金屬外殼,結實耐用
·通過不銹鋼小法蘭DN 25 ISO-KF或conflat法蘭DN 40 CF-F真空連接
尺寸mm
技術參數
傳感器 Pirani/inverted magnetron(依據氣體不同)
真空接觸材質 不銹鋼1.4307、鎳,鎢,鉬,玻璃,陶瓷
測量范圍 1000到5×10-9mbar(750到5×10-9torr),過壓4bar
精度 1000到10mbar:<30%讀數
10到2×10-3mbar:<10%讀數
2×10-3mbar到1×10-8mbar:<25%讀數
重復性 ±2%讀數(10到1×10-2mbar)
±7%讀數(1×10-2到1×10-8mbar)
響應時間 200ms
陰極電壓 2.5kV
供電電壓 20到30VDC
電氣連接 VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15pol.,male,lockable
VSM77E,VSM79E:M12圓形接頭,female,lockable
1x標準A,5針,2x密碼D,4針
電流 3W,同時0.8Wf.EtherCAT/繼電器/LCD
操作溫度 5到60℃
存儲溫度 -40到65℃
烘烤溫度 法蘭(電氣分離)上的溫度160℃
輸出信號 0到10VDC,測量范圍1.819-8.6VDC,log.,0.6V/等級
負載電阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
串行接口 RS485:9.6kBd到115kd,開關地址1-16
開關點 2個開關繼電器,50VAC/2A,30VDC/2A,60VA
真空連接 DN 25 ISO-KF(VSM77),DN 40 CF-F(VSM79)
防護等級 IP54(VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
重量 約555克
訂貨代碼:
·VSM77D
真空計Pirani/inverted magnetron,1000到5×10-9mabr,DN 25 ISO-KF連接,輸出0-10V 和RS485
·VSM77DL
同VSM77D,帶LCD顯示
·VSM77E
同VSM77D,RS485輸出和EtherCAT
·VSM79D
真空計Pirani/inverted magnetron,1000到5×10-9mabr,DN 40 CF-F連接,輸出0-10V 和RS485
·VSM79DL
同VSM79D,帶LCD顯示
·VSM79E
同VSM79D,RS485輸出和EtherCAT
配件:
·W1515002
帶VD12和VD10的真空計VSM77D/DL和VSM79D/DL的連接線,線長2米
·W1515006
同W1515002,線長6米
·W1515020
同W1515002,線長20米
·B_VSM77
傳感器探頭,DN 25 ISO-KF,f.VSM77
·B_VSM79
傳感器探頭,DN 40 CF-F,f.VSM79
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