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北京北方大河儀器儀表有限公司
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FathomMF系列質量流量計和控制器(中量程)特點：1、熱式傳感器2、1%精度100:1量程比3、一體化的閥、顯示器及設定點4、線性化輸出(0-5VDC
應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合
MF系列氣體質量流量計及控制器量程從 100到500 SLPM. 流體（接液部分） 結構為 316SS ，接口為 1/2″ FNPT.MF系列與GR系列一樣具有多種電子選項：包括LCD顯示，就地設定點等。
GR系列 | MF系列 | HF系列 | IL系列 | |
| 材質 | 聚甲醛樹酯 Viton 可選：316不銹鋼 | 316SS（PH17-4） Viton | 鋁 Viton | 316SS（PH17-4） Viton |
| 輸出信號 | 0-5V DC 線性 | 0-5V DC 線性 或4-20mA線性 | 0-5V DC 線性 或4-20mA線性 | 0-5V DC 線性 或4-20mA線性 |
| 供電 | 24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma | 24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma |
| 精度 | +/-1%FS（包括線性） | +/-1%FS（包括線性） | +/-1%FS（包括線性） | +/-1%FS（包括線性） |
| 重復性 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 | +/- 0.15% FS 或更好 |
| 電氣連接 | 9針 Sub”D” | 9針 Sub”D” | 9針 Sub”D” | 9針 Sub”D” |
| 輸入信號 | 整體 or 0-5VDC | 整體 or 0-5VDC | 整體 or 0-5VDC | 整體 or 0-5VDC |
| 控制閥 | 電磁閥 NC | 電磁閥 NC | 電磁閥 NC | 電磁閥 NC |
| 量程 | 0-10SCCM-100SLPM | 0-100SLPM-500SLPM | 35SCFM | 0-10SCCM，0-20SLPM |
| 耐壓 | 250PSIG | 500PSIG | 250PSIG | 500PSIG |
| 響應時間 | 1秒 | 1秒 | 1秒 | 1秒 |
| 溫度系數 | 0.05%滿量程/1℃或更好 | 0.05%滿量程/1℃或更好 | 0.05%滿量程/1℃或更好 | 0.05%滿量程/1℃或更好 |
| 壓力系數 | 0.01%滿量程/PSIG或更好 | 0.01%滿量程/PSIG或更好 | 0.01%滿量程/PSIG或更好 | 0.01%滿量程/PSIG或更好 |
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