低溫等離子廢氣處理設備、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的*，等離子體受到了相關學科界的高度關注。

低溫等離子廢氣處理設備

  利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。廢氣體利用排風設備輸入到凈化設備運用,UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

  其原理是可燃燒的有機物廢氣在攝氏780~1100度發生熱氧化反應，生成二氧化碳和水。如果有機物含有鹵素等其它元素，則氧化產物還有鹵化氫等。廢氣首先通過蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而后進入燃燒室進行熱氧化，氧化后的氣體溫度升高，有機物基本上轉化成二氧化碳和水。凈化后的氣體，經過另一蓄熱體，溫度下降，達到排放標準后可以排放。不同蓄熱體通過切換閥或者旋轉裝置，隨時間進行轉換，分別進行吸熱和放熱。

  處理方法有吸附法、吸收法、催化燃燒法、熱力燃燒法、生物試劑噴淋法等突出優勢：吸附法的優勢：處理處理大風量、低濃度的有機成分費用低、造價省、技術成熟催化燃燒法：處理高濃度、小風量廢氣節省運行費用蓄熱式燃燒：處理高弄濃度、大風量廢氣具有運行成本低，占地面積少，運行管理方便等優點