化工廠廢氣處理設備等離子法目前應用較多，但是對設計安裝有一定要求，也是目前比較好的有機廢氣處理方法  采用低溫等離子體高壓放電，電場吸附有害毒體在吸煙板上，在疊加脈沖作用下打開分子鍵、激活自由基、釋放臭氧，通過化學反映，自由結合，產生二氧化碳和水，對人體無害的同時，還在設備前后設置了各種過濾材料，針對不同廢氣的裝置，確保**的凈化效果。

化工廠廢氣處理設備

 該法優點是：處理效率高（活性炭吸附法可達99%以上）、廣譜適應性、應用范圍廣、操作簡單、投資費用低等特點，該法缺點是系統阻力損失大，使得能耗較大,吸收法按吸收液的不同可分為水吸收法和藥劑吸收法。藥劑吸收法是向吸收液中投加有機藥劑，如：柴油、十二烷基苯磺酸鈉、酒精等。利用這些溶劑與溶質（甲苯、二甲苯、苯等）的相似相溶原理，讓有機性溶劑吸收甲苯、二甲苯、苯等，同時洗塵。使得污染性物質從氣相中轉移到液相中從而去除之。

活性炭吸附是利用活性炭的多孔性，存在吸引力的原理而開發的。由于固體表面上存在著未平衡飽和的分子力或化學鍵力，因此當此固體表面與氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其濃集并保持在固體表面，這種現象就是吸附現象。本工藝所采用的活性炭吸附法就是利用固體表面的這種性質，當廢氣與大表面的多孔性活性炭相接觸，廢氣中的污染物被吸附在活性炭固體表面，從而與氣體混合物分離，達到凈化的目的。該法凈化效率可達95％以上，以往工程實例數據：噴漆車間空氣中二甲苯濃度可從240～960mg/m3降至10.7～20.9mg/m3，低于國家衛生標準，大大改善了工人的操作環境。