Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有創新的軸承護罩設計，可將真空環境與所有形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅*干燥，而且*密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。兩款泵都有耐腐蝕性版本。

XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎上開發的產品，因此兩者具備相同的功能和優勢，但前者的峰值泵速可達 40m3/hr。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時，XDS46i 針對大抽速進行了優化，因此非常適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應用。端部密封技術的新改進減少了端部密封的磨損，從而延長了維修干預之間的時間間隔。變換器驅動控制著電機的特性，確保泵總是以優化速度運行，并使用戶可以對泵進行遠程控制。

氣鎮允許處理蒸汽，將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅動裝置控制著電機特性，可確保泵總是以好轉速運轉。

nXDS 46i渦旋真空泵特點

真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

nXDS 46i渦旋真空泵無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用

簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz

應用

清潔泵送應用

汽車

射束線和高能物理

超高速離心機

 LCMS 入口

ICPMS 入口

涂層