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德國PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀

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產品簡介

德國PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀
運動和定位
主動軸 X、Y、Z
X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米
Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

詳細介紹

德國PI P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

品牌：PI(Physik Instrumente)
品牌公司簡介：
德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

規格 P-313PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀單位

運動和定位

主動軸 X、Y、Z

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 納米

Z向上的分辨率 0.14 納米

機械特性

X、Y向上的諧振頻率 4 千赫茲

Z向上的諧振頻率 11 千赫茲

運動方向上的推/拉力 ±10 牛

負載容量 ±10 牛

其他工作溫度范圍 5 到 40 °C

質量 80 克

電纜長度 1.5 米

電壓連接 Sub-D 24W7（公頭）

*電控 E-536

訂購信息

P-313.30L 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環，LEMO連接器

P-313.30D 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環，Sub-D連接器

德國PI P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

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