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德國PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀

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產(chǎn)品簡介

德國PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀
運(yùn)動(dòng)和定位
主動(dòng)軸 X、Y、Z
X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米
Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

詳細(xì)介紹

德國PI P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

品牌：PI(Physik Instrumente)
品牌公司簡介：
德國PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

規(guī)格 P-313PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀單位

運(yùn)動(dòng)和定位

主動(dòng)軸 X、Y、Z

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 納米

Z向上的分辨率 0.14 納米

機(jī)械特性

X、Y向上的諧振頻率 4 千赫茲

Z向上的諧振頻率 11 千赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力 ±10 牛

負(fù)載容量 ±10 牛