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深圳市秋山貿易有限公司
加工定制 | 否 | 氣體種類 | 氧氣 |
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響應時間 | 見圖s | 儀器原理 | 其他原理 |
儀器種類 | 在線式 |
日本toray東麗氧氣分析儀MS-500
醉多可同時測量8個點
濃度顯示范圍很廣,從ppm到
非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性
日本toray東麗氧氣分析儀MS-500
醉多可同時測量8個點
濃度顯示范圍很廣,從ppm到。
非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性
測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
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形狀 | 分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式) | ||
顯示方式 | 4位數字顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 | ||
重復性 | 在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高 ±1%FS或± 0.1ppm中,以較大者為準小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍 | ||
測量點數 | 1?8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa(壓力) | |
流量 | 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發擴散狀態的測量) | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0-100°攝氏度 | ||
其他 | 請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,錄氣,硫化物氣等),含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報警輸出 | 沒有 | ||
熱身時間 | 6分鐘以內 | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起) | |
MS-510(轉換器) | 100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起) | ||
傳感器單元 | SD16NW | 總長100mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51) | |
SD25NW | 總長100 mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 總長100mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49) | ||
大眾 | MS-500(控制器) | 約0.6Kg | |
MS-510(轉換器) | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一(NW16、25、40) | ||
使用電源 | 24VDC±10% |
日本toray東麗氧氣分析儀MS-500
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