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江蘇康玉環(huán)保科技有限公司
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閱讀：94發(fā)布時間：2023-9-6
造紙廠廢氣處理設備之半導體廢氣處理
隨著信息時代的到來，半導體產(chǎn)業(yè)也在快速發(fā)展。半導體制造商給社會帶來的經(jīng)濟效益和就業(yè)率是顯而易見的，但隨之而來的是空氣污染。因為半導體行業(yè)需要清潔操作室。要求，通常采用風機提取過程中揮發(fā)性的各種廢氣，因此半導體行業(yè)的廢氣排放具有排放量大、排放濃度小的特點。
主要成分：半導體工業(yè)廢氣主要為4種有機廢氣和酸堿廢氣。有機物有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿有：氨硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。主要來源：半導體行業(yè)造成環(huán)境污染的有害氣體主要來自芯片或電路板生產(chǎn)的清潔、均膠、去膠、蝕刻和顯影過程。主要危害：半導體行業(yè)主要是由于使用了一些化學物質(zhì)（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、、三氯、乙烷等化學物質(zhì)。和其他有機鹵化物)揮發(fā)對大氣環(huán)境造成污染，機械噪聲和整機裝配過程中產(chǎn)生的少量粉塵也會造成環(huán)境污染，導致慢性或急性中毒。
工作原理：待處理的有機混合廢氣通過引風機作用，先通過預處理過濾裝置去除廢氣中的灰塵和雜質(zhì)，否則直接吸附會堵塞沸石的微縮孔，從而影響吸附效果。初步過濾后，相對純凈的有機廢氣進入沸石輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物被轉(zhuǎn)輪沸石的力攔截，清潔氣體排出。沸石轉(zhuǎn)輪脫附的高濃度廢氣直接進入TO直燃焚燒爐進行焚燒凈化處理。
廢氣焚燒后，爐內(nèi)燃燒室的高溫氣體和內(nèi)部熱交換器進行熱交換制在300-350℃左右進入燃燒室燃燒，燃燒后，內(nèi)部熱交換器冷卻后進入尾部二次煙氣余熱利用裝置，d級余熱利用裝置用于脫附，加熱后的清潔氣體進入轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)，沸石中的有機物在熱空氣加熱后從沸石中揮發(fā)，此時脫附廢氣濃度高，風量小，高溫有機廢氣進入二次煙氣余熱利用裝置，二次提高廢氣溫度，進入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運行成本。實現(xiàn)真正的節(jié)能和環(huán)保。同時，整個設備安裝q，可靠，無二次污染。
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