1.快速掃描

X射線熒光元素分析儀憑借150萬CPS的高計數率檢測器完成高靈敏度的測量，以及借助250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺，實現快速掃描測量。對于范圍為100 mm×100 mm的情況，可在2～3分鐘內檢測出端子部分的鉛并確定其位置。

2. 連續多點測量

可500個測量位置進行連續多點測量。由于采用自動測量方式，因此在測量大量樣品是，也可發揮高效率。

3. 高精密重合

X射線熒光元素分析儀通過Telecentric Lens 系統和高速?高精度XY平臺，將元素掃描像和光學成像進行重合對微小部品的中心部分的目標元素也能進行簡單觀察。大250 mm×200 mm上方觀察，并且能夠實現廣域位置誤差為100 µm以內的精確定位。

4. 微小部位測量

在FT系列中被*的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說極薄的鍍金等膜厚測量，即便是在進行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質分析的膜壓測量的同時也可進行膜厚測量。比如也可進行無鉛焊錫鍍層及引線框架上Sn鍍層，無電解Ni鍍膜中所含的有害物質的濃度測量。

5. 環境中限制物的測量

RoHS等限制物的高靈敏度測量，短時間內測出樹脂、金屬等中含有的微量環境限制物。對復合樣品也可專注到特定部位進行測量。

6. 輕元素測量

通過安裝充氦選購項，可以分析鈉開始的輕元素。測量中能夠獨立運轉的氦氣系統。將使用成本化降低。