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鉑悅儀器(上海)有限公司


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反射膜厚儀

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產品型號MProbe Vis

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地

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更新時間:2021-11-05 16:28:28瀏覽次數:233次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:118條

所在地區:上海上海市

聯系人:廖女士 (市場部)

產品簡介

產品描述:MProbe Vis薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。

詳細介紹

產品概述

       MProbe Vis薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺

       大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被MProbe Vis測厚儀測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。

測量范圍: 15 nm -50um

波長范圍: 400 nm -1100 nm

MProbe Vis薄膜測厚儀適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

測量指標:薄膜厚度,光學常數

界面友好: 一鍵式測量和分析。

MProbe Vis薄膜測厚儀實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。

案例1,300nm二氧化硅薄膜的測量:

 

硅晶圓反射率,測量時間10ms:

 

案例2,測量500nm氮化鋁,測量參數:厚度和表面粗糙度

關鍵詞:測厚儀

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