電池行業用超純水包括蓄電池生產用純水，鋰電池生產用純水 ，太陽能電池生產用純水，蓄電池格板用純水。電池中電解液的配備對純水要求十分嚴格, 通常要求水的電導率小于0.1us/cm（電阻值大于10兆歐姆），傳統用來制備電池用超純水的工藝是常采用陰陽樹脂交換設備，該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經常再生。隨著膜分離技術的不斷成熟，現在常常采用反滲透過濾工藝，或者是采用一級反滲透后面再經過離子交換混床（或電去離子EDI）工藝來制取超純水。
    泉瑞QRCJ系列電池行業去離子水設備典型工藝： 
    預處理系統－反滲透系統－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過濾器－用水對象 （≥18MΩ.CM）（傳統去離子水設備工藝） 
    預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）（去離子水設備工藝） 
    預處理－一級反滲透－加藥機（PH調節）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥17MΩ.CM）（去離子水設備工藝） 
    預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）（去離子水設備工藝） 
    預處理系統－反滲透系統－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對象 （≥15MΩ.CM）（傳統去離子水設備工藝）