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Axio Imager Vario-適用于大尺寸樣品的正置顯微鏡

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更新時間:2021-11-16 16:33:53瀏覽次數(shù):115次

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檢測大尺寸樣品–擁有自動聚焦系統(tǒng)且滿足超凈室等級要求
  • 產(chǎn)品詳細(xì)
  • 分析從極小的MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅(qū)動 Z 軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至更佳聚焦位置。

     

    特點(diǎn):

    • 兩種手動和一種電動機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動距離和 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。

    • Axio ImagerVario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。

    • 借助自動聚焦硬件,您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。

    • Axio ImagerVario 與 LSM 700 組合應(yīng)用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

    • Axio ImagerVario 已通過 DIN EN ISO14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。

    超凈室:

    半導(dǎo)體制造與晶圓檢測需要在超凈室內(nèi)完成。根據(jù) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應(yīng)用中,Axio Imager Vario 已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級相當(dāng)于原 FED STD 209E(1992)標(biāo)準(zhǔn)的 100 級。超凈室套件中包含一個 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護(hù)罩及一個防噴嚏保護(hù)罩。

     

    自動聚焦硬件

    集成有 AutoFocus 自動聚焦硬件系統(tǒng)的 Axio Imager Vario 能夠在高達(dá) 12000 µm 的焦點(diǎn)捕獲范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)的聚焦。在工業(yè)生產(chǎn)和研究的檢測應(yīng)用中,您需要一套聚焦精度能達(dá)到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統(tǒng)。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應(yīng)用。







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