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Axio Imager Vario-適用于大尺寸樣品的正置顯微鏡

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更新時間:2021-11-16 16:33:53瀏覽次數:118次

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檢測大尺寸樣品–擁有自動聚焦系統且滿足超凈室等級要求
  • 產品詳細
  • 分析從極小的MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。

     

    特點:

    • 兩種手動和一種電動機柱(配有符合工業標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動距離和 254 mm 垂直深度的優勢。

    • Axio ImagerVario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。

    • 借助自動聚焦硬件,您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

    • Axio ImagerVario 與 LSM 700 組合應用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

    • Axio ImagerVario 已通過 DIN EN ISO14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。

    超凈室:

    半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 標準,以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中,Axio Imager Vario 已通過此標準認證,并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E(1992)標準的 100 級。超凈室套件中包含一個 7 孔物鏡轉盤、一個顆粒保護罩及一個防噴嚏保護罩。

     

    自動聚焦硬件

    集成有 AutoFocus 自動聚焦硬件系統的 Axio Imager Vario 能夠在高達 12000 µm 的焦點捕獲范圍內實現快速精準的聚焦。在工業生產和研究的檢測應用中,您需要一套聚焦精度能達到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。







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