正置顯微鏡分析從極小的MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動距離和254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。
正置顯微鏡特點:
兩種手動和一種電動機柱(配有符合工業標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡300 mm 橫向與縱向移動距離254 mm 垂直深度的優勢。
Axio ImagerVario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高準確聚焦精度和可重復性。
借助自動聚焦硬件,您可以準確快速地聚焦低對比度的反射樣品。
Axio ImagerVario 與 LSM 700 組合應用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
Axio ImagerVario 已通過 DIN EN ISO14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求
?超凈室:
半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 標準,以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中,Axio Imager Vario 已通過此標準認證,并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E(1992)標準的 100 級。超凈室套件中包含一個 7 孔物鏡轉盤、一個顆粒保護罩及一個防噴嚏保護罩。