用途：
測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作測量，適用于電子行業,機械加工。用來測量電子線路的寬度和精細小工件的幾何尺寸，以及其它零件測量。
本儀器工作臺具有XY直角坐標系和O點極坐標系。
本儀器可以做為測量儀器使用，用作不透明物體的觀察與測量。具有明暗場，微分干涉，FA測量等擴展功能.
主要技術參數
鏡筒 | 頭 部 | 三目，30?傾斜, 可99%通光攝影 | |
粗 動 | 立桿調節80mm，調節范圍 30mm | ||
微 動 | 0.001mm/格 | ||
高（Z軸)測量 | 10～25mm（可選） 1mm最小讀數0.001mm（干分表讀數） | ||
工作臺 | 尺 寸 | 工作臺160*160mm | |
左右（X軸） | 移動范圍50mm | ||
前后（Y軸） | 移動范圍50mm | ||
測量分度值 | 0.5um | ||
玻璃工作臺 | 360°旋轉， 分度值1° | ||
手輪 | 數 顯 | XY數顯解析度0.001mm | |
普 通 | 手輪讀數0.01mm(定制0.005mm） | ||
光學系統 | 目鏡 | WF 10X/22mm | |
無窮遠平場長工作距離物鏡 | PLL5X 工作距離:26.1mm | ||
PLL10X 工作距離:20.2mm | |||
PLL20X 工作距離：8.80 mm | |||
PLL40X 工作距離:3.68mm | |||
PLL60X 工作距離：3.18 mm (選購) | |||
其它 | 濾色片 | 藍、綠、黃、磨砂 | |
正交偏光 | 透反射機型中配有 | ||
照明系統 | 光源 | 透射照明 | LED光源 藍、綠濾色片 |
反射照明 | 12V50W 鹵素燈 | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
選購件：
1.目鏡：10X帶尺可調目鏡
2.長工作距離平場物鏡：PLL50X、PLL80X 、PL100X物鏡（DIC暫且除外）
3.三豐數顯手輪或光柵及數顯/屏顯
4.數碼攝像頭或單反相機
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