用途:
多功能測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量,特別適用于電子行業,超精密機械加工。用來測量電子線路的寬度和精細小工件的幾何尺寸,以及其它精密零件測量。廣泛地適用于計量室,生產作業線以及科學研究等部門。
多功能測量顯微鏡JL107J型配有高精度的工作平臺和日本三豐測微手輪。從而保證儀器的高精度性,是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。
本儀器是無窮遠光學系統,配置高數值孔徑物鏡,且采用高精度的工作平臺,可選配日本Mitutoyo的高精密數顯測微頭。操作方便,可靠性強。儀器放大倍數高,工作臺具有XY直角坐標系和O點極坐標系,玻璃工作臺可以360度旋轉。107J系列都可以進行垂直高度的測量。照明系統除作透、反射照明外,還可作斜光線照明。
本儀器不僅可以做為測量儀器使用,還可以用作不透明物體的觀察與測量。是一臺綜合型的測量儀器。并具有明暗場,微分干涉,FA測量等擴展功能,適用范圍更廣
主要技術參數
鏡筒 | 頭 部 | 三目,30?傾斜, 可100通光攝影 | |
粗 動 | 立桿調節80mm,調節范圍 30mm | ||
微 動 | 0.001mm/格 | ||
高(Z軸)測量 | 10~25mm(可選) 1mm讀數0.001mm(干分表讀數) | ||
工作臺 | 尺 寸 | 工作臺160*160mm | |
左右(X軸) | 移動范圍50mm | ||
前后(Y軸) | 移動范圍50mm | ||
測量分度值 | 0.5um | ||
玻璃工作臺 | 360°旋轉, 分度值1° | ||
手輪 | 數 顯 | XY數顯解析度0.001mm | |
普 通 | 手輪讀數0.01mm(定制0.005mm) | ||
光學系統 | 目鏡 | WF 10X/22mm | |
無窮遠平場長工作距離物鏡 | PLL5X 工作距離:26.1mm | ||
PLL10X 工作距離:20.2mm | |||
PLL20X 工作距離:8.80 mm | |||
PLL40X 工作距離:3.68mm | |||
PLL60X 工作距離:3.18 mm (選購) | |||
其它 | 濾色片 | 藍、綠、黃、磨砂 | |
正交偏光 | 透反射機型中配有 | ||
照明系統 | 光源 | 透射照明 | LED光源 藍、綠濾色片 |
反射照明 | 12V50W 鹵素燈 | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ |