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成都沃特塞恩電子技術有限公司
【MPCVD培育鉆石】HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統 HMPS-2080SP的微波等離子體CVD設備是一款多用途、高性能的適用于高品質金剛石及多種碳基材料制備的綜合實驗和產業化設備,該設備可提供2英寸的金剛石材料生長能力。. 采用沃特塞恩第三代高穩定固態功率源;新一代大容積圓柱型水冷放電腔。. 性能*,安全、可靠性強、重現性好,操作簡便。. 多參數......
(1) | 型號 | HMPS-2080SP |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<18KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.1~8kW 連續可調 |
(4) | 功率穩定度 | 1%(@穩態) |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
(8) | 極限真空度 | ≤3.7×10-3Torr |
(9) | 工作壓力 | 5torr~225torr |
(10) | 放電區 | Φ≥70mm |
(11) | 均勻沉積區 | ≥68mm |
(12) | 工作氣體 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可擴展為5路 |
(13) | 氦質譜真空漏率 | ≤1.0×10-9Pa·m3/s; |
(14) | 工作環境 | 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
更多詳細參數請咨詢沃特塞恩銷售人員,獲取更詳盡的技術規格書!
高品質單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長;
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。
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