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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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爭(zhēng)光（GLORY）系列固態(tài)射頻電源

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-09-05 11:46:29瀏覽次數(shù)：261次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場(chǎng)專員）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

爭(zhēng)光（GLORY）系列固態(tài)射頻電源

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

通用指標(biāo)

頻率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

頻率誤差

0.005%

額定輸出功率

30W-6kW；50W-10kW

功率模式  

Forward power；load power

功率步進(jìn)

1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W開始）

功率重復(fù)性（同一電源）

±0.5%

整機(jī)效率（額定功率下）

63%-6kW；60%-10kW

散熱方式

水冷+風(fēng)冷

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local


欲知更多詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊“立即咨詢"聯(lián)系我司客服進(jìn)行了解！

工作模式

連續(xù)波

脈沖波

應(yīng)用范圍

ICP/CCP干法刻蝕

PECVD


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