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成都沃特塞恩電子技術有限公司
微波常壓低溫等離子噴槍 微波常壓低溫等離子噴槍是專業應用于等離子清洗、材料預處理的低溫等離子體發生裝置。微波等離子體(此處特指2450MHz頻率),相較于中頻、高頻、射頻等電磁頻段,其振蕩頻率更高,可使等離子體中的電子在更小的功率下可以獲得更多的能量,等離子體中的電子密度和活性反應物質密度更高。低溫等離子體中電子溫度遠高于離子溫度,在具有高能活性可以處理被加工材料......
項目 | 典型值 | 單位 |
使用微波頻率 | 2450 | MHz |
工作使用微波功率(氬氣) | 5~40 | W |
所需氣體流量(氬氣) | 3/4---6/8 | slm |
熱偶長時間測試溫度(@氬氣@1min) | 50~150 | ℃ |
工作使用微波功率(壓縮空氣) | 120~200 | W |
所需氣體流量(壓縮空氣) | 8~25 | slm |
熱偶長時間測試溫度(@壓縮空氣@1min) | 65~200+ | ℃ |
適用氣體 | Ar、O2、N2、H2、air |
|
氣嘴接口 | 外徑?6(連接PU氣管) | mm |
噴槍重量 | 小于2Kg |
. 采用的固態微波源工作穩定,穩定度高、使用壽命長
. 可使用多種氣體,等離子溫度可調整,可適應多種應用
. 整體功率小、處理效率更高
. 體積小、重量輕、
. 控制方式簡單
常壓等離子體噴槍無需真空系統,具有設備體積小、制造和維護成本低等優點,并且由于被處理材料尺寸不受真空腔體體積的限制,易于實現自動化連續處理。同時,對于僅需清洗局部位置的材料,可提供精細化的處理,不會像真空腔清洗方式被全部處理。
靜電敏感電子元器件部件的表面預處理(半導體封裝)
光學鏡面鍍膜預處理
特殊材料涂覆前預處理
粘接預處理
微波低溫等離子噴槍
常壓低溫等離子噴槍由微波輸入接口、進氣口、自動點火裝置組成。
可與微波源、氣體輸入控制裝置、總系統控制等組成微波常壓低溫清洗設備系統。
固態微波源
. 可提供功率穩定(0~200W)、頻率精確的(2450MHZ)的微波能量
. 微波能量經由N型母頭輸出,可連接同軸線延長到設備所需位置(線長超過1米需注意線材損耗)
. 控制方式使用模擬信號IO方式控制,上位機軟件僅可實時讀取微波源信息
. 完善的保護機制,可對反射功率過大、溫度過高、功放電流過大自行斷電保護,同時在設備LED上顯示
. 微波源直流+28V供電,風扇+24V~+28V供電
微波源詳細參數請點擊WSPS-2450-200-CMFB產品詳情頁處查看
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