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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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HMPS-2150S微波等離子體CVD設備

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-11 17:42:35瀏覽次數(shù)：241次

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經(jīng)營模式：生產廠家

商鋪產品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場專員）

產品簡介

HMPS-2150S微波等離子體CVD設備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應用技術研發(fā)及MPCVD設備生產、具有多項自主知識產權……，我司生產的這款型號為HMPS-2150S微波等離子體CVD設備具有以下優(yōu)勢特點：. 微波反應腔新型設計，功率密度大。. 產品沉積速率快、沉積質量高、沉積面積超過3inch。. 開關型微波功率源，微波功率輸出......

詳細介紹

技術規(guī)格
（1）型號HMPS-2150S
（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜25KVA
（3）微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調
（4）功率穩(wěn)定度  ≤±1%（@滿功率）
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率   2450MHz±50MHz
（7）測溫方式     紅外300~1400℃，控制精度±5℃
（8）極限真空度 6×10-6torr
（9）腔體內工作壓力   7torr~250torr
（10）自動氣壓控制0.1torr
（11）等離子放電區(qū)域 Φ≥100mm
（12）均勻沉積區(qū)域 Φ≥80mm
（13）工作氣氛五路（可用戶定制）
（14）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（15）工作環(huán)境  溫度15~40℃，相對濕度≤60%，無腐蝕性氣體
（16）冷卻水  ＞46L/Min


應用范圍

適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質表面處理、低溫氧化物的生長等。



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