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成都沃特塞恩電子技術有限公司
HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業部專業從事微波能、微波等離子體應用技術研發及MPCVD設備生產、具有多項自主知識產權……,我司生產的這款型號為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設備具有以下優勢特點:. 采用沃特塞恩第三代高穩定固態功率源;上饋式圓柱型放電腔。. 性能*,安全、可靠性強、重現性好,操作簡便。. 多......
(1) | 型號 | HMPS-2060SP |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<18KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.5~6kW 連續可調 |
(4) | 功率穩定度 | 1%(@穩態) |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
(8) | 極限真空度 | 6×10-6torr |
(9) | 腔體內工作壓力 | 7torr~250torr |
(10) | 樣品臺 | Φ60mm |
(11) | 樣品臺軸向調節范圍 | 0-60mm |
(12) | 工作氣氛 | 五路(可用戶定制) |
(13) | 微波泄漏值 | <5mW/cm2 |
(14) | 工作環境 | 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
(15) | 冷卻水 | >37L/Min |
高品質單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長。
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。
適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的產業化生產,材質表面處理、低溫氧化物的生長等。
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