X射線是和可見光線一樣也是電磁波的一種，不同的是它的波長較之可見光為短，在100?到0.1?之間。同時，與一般的電磁波相比，X射線能夠比較容易的穿透物質，其穿透強度是隨包含在物質里的原子的原子序號變小而增加。X射線熒光分析儀是利用X射線照射在物質上時，發生的固有的X射線（熒光X射線）的方法而設計的。
X射線熒光分析儀不僅成為對其物質的化學元素、物相、化學立體結構、物證材料進行試測，對產品和材料質量進行無損檢測，對人體進行醫檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析手段，也是材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法。
熒光X射線照射在物質上，構成的物質其原子的內核電子受到X射線的轟擊，能量增加，于是內層電子向外層遷移，同時外層電子向內層遷移，由于外層電子所具能量高，在向內層遷移時，便放出能量，此剩余的能量以電磁場的形式放出，既為熒光X射線。由于熒光X射線是元素所固有的能量，依據Moslay法則可對熒光X射線的能量做定性分析，同時，利用熒光X射線強度（光子數）則可做定量分析。
熒光X射線分析也可以說是X射線領域里的分光光譜分析。與測定液體樣品的原子吸收光譜和發光光譜分析近乎相同的性能。比如，原子吸收光譜（FLAAS），是在2000℃～3000℃的火焰下把樣品原子化，發光光譜分析（ICP-AES）是利用6000～9000℃的等離子火焰進行激發。熒光X射線分析的手法基本與上述兩者一樣，是利用X射線激發樣品中的元素從而得到需要的信息。
希望上述內容能夠幫助大家更好的了解本分析儀。
