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等離子清洗機不需要使用大量的酸、堿、有機溶劑等,不會給環境帶來任何污染,有利于環保和人員安全,同時該清洗技術的均勻性、重復性和可控性非常好,具有三維處理能力,可以進行方向選擇。等離子清洗機是沒有正負電極,自偏壓很小,不會產生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產效率高;離子運動沖擊小,不會產生UV(紫外線)輻射,尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。
等離子清洗機作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。在集成電路的制程中,會產生許多種類的污染物,包括氟化樹脂、氧化物、環氧樹脂、焊料、光刻蝕劑等,這些污染物將嚴重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗機作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術被廣泛應用于集成電路的制程中。
等離子體清洗機可以不分處理對象,它可以處理各種各樣的材質,無論是金屬、半導體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體清洗機來處理。因此特別等離子清洗機適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗;